Drehbare Targets

Rotatable Targets

Rohrtarget-Technologie ist in der großflächigen Beschichtungsherstellung von Architekturglas und Flachbildschirmen eingesetzt worden.

Rohrtargets haben mehrere Vorteile gegenüber planaren Targets. Rohrtargets enthalten in der Regel mehr Material und bieten eine höhere Auslastung im Vergleich zu planaren Targets. Dies wiederum führt zu deutlich längeren Produktionsläufen und reduzierten Ausfallzeiten der Anlage. Der Gesamtnutzen liegt in der Erhöhung der Durchflussleistung der Beschichtungsanlage. Zum anderen ermöglichen die Rohrtargets die Nutzung höherer Leistungsdichten, da sich die Wärmeentwicklung gleichmäßig über die Oberfläche des Targets verteilt. Die Folge ist eine erhöhte Abscheidegeschwindigkeit bei gleichzeitig verbesserter Leistung beim reaktiven Sputtern.

Testbourne Ltd. liefert jetzt zylindrische Magnetron-Sputtertargets, die in vielen Größen hergestellt werden, von 2" bis 8.625" (ca. 5,08 bis 21,9cm) im Durchmesser und mit Längen von wenigen Zoll bis 160 Zoll (ca. 4m).

Die am häufigsten verwendeten C-MAG Rohrtargets sind in Chrom, Silber, Aluminium-Silizium, Zinn, Titanoxid, Edelstahl, Aluminium, Wolfram, Tantal, Molybdän, Niob, Kupfer und Zinklegierungen erhältlich.

Die Standardfertigungsverfahren sind Plasmaspritzen auf die Basisrohre, Gießen und Extrudieren der kompletten Anordnung.

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