Elektronenstrahltiegel

Electron Beam Gun Crucibles

Die Elektronenstrahlverdampfung ist eine Methode der Dünnschichtabscheidung unter Verwendung einer Elektronenquelle oder einer Elektronenkanone (EB-Kanone). Beide Namen sind gebräuchlich, aber das eigentliche Gerät besteht aus einer erhitzten Kathode, die einen hohen Elektronenfluss emittiert, der durch Hochspannung beschleunigt und durch ein Magnetsystem in einer wassergekühlten Heizung gebündelt wird.

Das zu verdampfende Material (das Verdampfungsgut) wird in einen Tiegel innerhalb der Heizung gelegt, wo es bis zur Verdampfung erhitzt wird und sich auf dem Substrat ablagert, um die gewünschte Dünnschicht zu bilden. Mit Hilfe der Elektronenstrahlverdampfungstechnik können sehr hohe Temperaturen erreicht werden, was schnelle Abscheidungsraten und ein breites Spektrum an Verdampfungsmaterialien erlaubt. Die Technik ist kontrollierbar, wiederholbar und kompatibel mit der Verwendung einer Ionenquelle, um die resultierenden Leistungsmerkmale der Dünnschicht zu verbessern.

Das Verdampfungsgut muss eventuell vor der eigentlichen Ablagerung der gewünschten Dünnschicht „konditioniert“ werden. Ein Verschluss wird oberhalb des Tiegels angebracht und in geschlossener Position gehalten, während das Verdampfungsgut vor Beginn der eigentlichen Dünnschichtablagerung konditioniert, entgast und auf Spritzeigenschaften überwacht wird. Der Umfang der erforderlichen Konditionierung hängt von der Art des Materials, seiner Qualität und der Art der Herstellung ab. Die Verwendung von qualitativ hochwertigen Dünnschichtmaterialien hilft dabei, den Konditionierungsprozess auf ein Minimum zu reduzieren und höhere Ausbeuten erfolgreicher Dünnschichten zu erzielen. Spezifische Grade hochreiner Materialien für den Einsatz in Elektronenquellen können empfohlen werden.

Electron Beam Gun Crucibles Scheme

Testbourne liefert Elektronenstrahltiegel und geformte Aufdampfmaterialkegel, die direkt in den Elektronenstrahltiegel passen. Sowohl die Tiegel als auch die Kegel sind in verschiedenen Materialien erhältlich.

Bitte verwenden Sie diese Tiegel-Auswahltabelle, um die gewünschten Tiegel für bestimmte Materialien auszuwählen.

Crucible Selection Table
EvaporantCRUCIBLE MATERIALS
Standard GraphiteGlassy Coated GraphiteAluminaBoron NitrideMolyTantalumTungstenInterme- tallies
Aluminium   x   x     x  
Alumina Al2O3             x  
Antimony x   x x        
Barium         x x x  
Beryllium   x            
Boron   x            
Cerium   x x          
Chromium   x            
Cobalt     x          
Copper     x   x x    
Gallium     x          
Germanium     x          
Gold   x x       x  
Indium         x      
Iron     x          
Lead     x          
Magnesium     x          
Manganese     x          
Molybdenum         x      
Neodymium     x          
Nickel   x x          
Palladium     x          
Platinum     x          
Rhodium   x            
Samarium     x          
Selenium   x x          
Silicon   x       x    
Silver     x   x      
Strontium   x            
Tin     x     x    
Titanium   x         x  
Titanium Dioxide           x    
Yttrium     x          
Zinc     x          
Zirconium             x  
Zirconium Oxide             x  

Crucible line drawing

Obwohl mit größter Sorgfalt darauf geachtet wurde, dass die in dieser Tabelle enthaltenen Informationen korrekt sind, können die Ergebnisse je nach Anwendung variieren. Bitte besuchen Sie die einzelnen Materialseiten für weiterführende Informationen zu Verdampfungstechniken und Materialeigenschaften.

Die meisten unserer Tiegel werden auf Bestellung hergestellt, bitte geben Sie deutlich die Höhe, den Bodendurchmesser, den oberen Durchmesser, die Wandstärke und eventuelle Sonderwünsche wie z.B. Lippen usw. an. Um die Angebotserstellung zu beschleunigen, bitten wir Sie um eine Zeichnung und geben Sie ggf. den Namen des Systems an, in dem die Tiegel verwendet werden sollen.

Hier finden Sie einige Standardtiegel, die zum Kauf angeboten werden.
Aluminiumoxid, Molybdän, Bornitrid, Tantal, Wolfram und intermetallische Verbindungen.

Custom crucible Enquiry
Volume System Name Dimensions
A B C D R
Material
Special Requirements: Angle, Lipset




Obwohl mit größter Sorgfalt darauf geachtet wurde, dass die in dieser Tabelle enthaltenen Informationen korrekt sind, können die Ergebnisse je nach Anwendung variieren.

Bitte besuchen Sie die einzelnen Materialseiten für weiterführende Informationen zu Verdampfungstechniken und Materialeigenschaften.