Baffled Box-Quellen für SiO, ZnS

Baffled Box Sources for SiO, ZnSDie R. D. Mathis Company „Baffled Box“-Siliziummonoxid-Quelle, SiO-Quelle, hat sich als äußerst erfolgreiche Methode zur Abscheidung von Siliziummonoxid erwiesen. Das Ausgangsmaterial befindet sich im Schiffchen in getrennten Hohlräumen, bei Erwärmung folgt es einem indirekten Weg durch eine Reihe von Baffles und dann aus dem Abgasschornstein. Das Substrat kommt zu keinem Zeitpunkt in Kontakt mit dem Grundmaterial. Dadurch wird die Gefahr von zu Porenfehlern führendem Spucken und Ausströmen weitgehend ausgeschlossen. Viele der gezeigten Quellen sind mit einem Abluftanschluss oben, unten oder horizontal erhältlich. Sonderanfertigungen und größere Volumenquellen, abgestimmt auf Ihre spezifischen Prozessanforderungen sind auf Anfrage erhältlich. Ein Paper, das die Abscheidungstechnik von Siliziummonoxid und die Ergebnisse unter Verwendung der „Baffled Box-Quelle“ beschreibt, ist auf Anfrage erhältlich … fragen Sie nach „Silicon Monoxide Evaporation with the Multi-baffled Box Source“ von Earl Olson von der Halex Corp. und R. D. Mathis.
SM-8
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1.082552751200°CSM-8
SM-9
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12422421200°CSM-9
SM-10
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1.252262821200°CSM-10
SM-11
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1.262362971200°CSM-11
SM-12
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1.362833851200°CSM-12
SM-13
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1.63185091200°CSM-13
SM-14
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1.663405641200°CSM-14
SM-15
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SM-16
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2.063577351200°CSM-16
SM-17
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SO-10
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SO-11
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SO-20
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SO-22
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SO-23
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SO-24
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SO-25
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SO-26
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SO-32-38
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1.33734851200°CSO-36
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SO-100-2000
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3.754019981200SO-100
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4.8162077761200SO-2000