Aluminiumoxidbeschichtete Quellen

Alumina Coated SourcesAluminiumoxidbeschichtete Verdampferquellen wurden entwickelt, um Aluminiumoxid-Tiegel für einige spezifische Anwendungen zu ersetzen. Die Vorteile dieser Art von Verdampferquelle sind die gute Wärmeübertragung und die Inertheit von Aluminiumoxid mit den meisten Metallen. Außerdem benetzt das Verdampfungsgut das Aluminiumoxid nicht, was zu keiner resistenten Veränderung des Schiffchens führt, wenn das Verdampfungsgut schmilzt. Aufgrund der nicht-benetzenden Eigenschaft von Aluminiumoxid bildet das Verdampfungsgut beim Schmelzen eine Kugel, die zu einer Punktquelle führt. Diese Art der Verdampferquelle bietet eine lange Lebensdauer im Vergleich zu den nicht geschützten Quellen. Beschichtete Quellen benötigen dreißig bis fünfzig Prozent mehr Energie, um eine Verdampfung zu bewirken bedingt durch die Differenz in der Wärmeleitung. Aluminiumoxid ist halbleitertauglich und wird mittels Plasmaspritztechnik auf das Schiffchen oder den Korb aufgebracht. Temperaturen ab 1850°C sollten vermieden werden und wenn eine Verdampfung stattfindet, sollte die Energie leicht reduziert werden, um eine Überhitzung zu vermeiden.
RDM-WBAO
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SB7-SB10
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