Chemische Analyse

Als Standardpraxis wird in unserem Unternehmen ein Analysezertifikat mit allen bestellten Materialien mitgeliefert. Für alle Elemente und Compounds werden Röntgenbeugungs- und Spektralanalysen durchgeführt. Für nichtmetallische Verunreinigungen, wie z.B. Sauerstoff, sind Daten auf Anfrage erhältlich.

Die folgenden Analysearten können gegen Aufpreis als ergänzende Dienstleistung zu unserem Dünnschichtproduktsortiment durchgeführt werden:

Spektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP):

Am besten geeignet zur Bestimmung des Verhältnisses der Massengüter in einer Legierung.

ICP ist ein quantitatives Massenanalyseverfahren für Haupt- und Spurenelemente mit hoher Bestimmungsgenauigkeit in einem breiten Probenspektrum.

Relevante Objekte für die ICP-Analyse:
  • Hochreine Materialien
  • Sputtertargets 
  • Metalllegierungen

Vorteile: 
  • Bis zu 70 Elemente können gleichzeitig bestimmt werden.

Nachteile:
  • Die Probe muss in Säure gelöst werden, damit die Analyse an einer flüssigen Probe durchgeführt werden kann.
  • Gemeinsame Matrixelemente können die Bestimmung einiger Elemente stören.

Glimmentladungs-Massenspektrometrie (GD-MS)

Bestens geeignet zur Bestimmung metallischer Verunreinigungen

GD-MS ist eine empfindliche und flexible Analyse für eine große Vielfalt an Proben. Die Analyse dient der Bestimmung von Massenzusammensetzungen sowie der Erfassung von detaillierten Profilinformationen mit sehr hoher Empfindlichkeit. Diese Technik zerstört effektiv die Probe und ist somit eine echte Massenanalyse des Materials. Aufgrund der Empfindlichkeit ist es eigentlich nur für die Untersuchung von Schadstoffen und Spurenelementen geeignet.

Relevante Objekte für die GD-MS-Analyse:
  • Sputtertargets
  • Metalle einschließlich hochschmelzender Metalle und Legierungen
  • Hochreine Materialien
  • Metalle der Seltenen Erden und ihre Oxide
  • Edelmetalle

Vorteile:
  • Tiefenprofilierung von Beschichtungen und Oxidschichten
  • Deckt das gesamte Periodensystem außer Wasserstoff ab.
  • Sub-ppb-Detektion

Nachteile:
  • Es kann H, C, N und O2 nicht erkennen.

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